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Manufacturing Techniques for Microfabrication and Nanotechnology

Name: Manufacturing Techniques for Microfabrication and Nanotechnology
Price: 142,48 € EUR
Availability: InStock
Author: Madou Marc J
ISBN: 9781420055191

madou marc j.

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Dettagli

Genere:Libro

Lingua: Inglese

Editore:

CRC Press

Pubblicazione: 07/2011

Edizione: 1° edizione

Note Editore

Designed for science and engineering students, this text focuses on emerging trends in processes for fabricating MEMS and NEMS devices. The book reviews different forms of lithography, subtractive material removal processes, and additive technologies. Both top-down and bottom-up fabrication processes are exhaustively covered and the merits of the different approaches are compared. Students can use this color volume as a guide to help establish the appropriate fabrication technique for any type of micro- or nano-machine.

Sommario

Lithography: Photolithography. Next-Generation Lithographies and Lithography Research. Pattern Transfer with Subtractive Techniques: Dry Etching. Wet Chemical Etching and Wet Bulk Micromachining—Pools as Tools. Thermal Energy-Based Removing. Mechanical Energy-Based Removing. Pattern Transfer with Additive Techniques: Physical and Chemical Vapor Deposition—Thin Film Properties and Surface Micromachining. Chemical, Photochemical and Electrochemical Forming Techniques. Thermal Energy-Based Forming Techniques—Thermoforming. Micro-Molding Techniques—LIGA.

Altre Informazioni

ISBN:

9781420055191

Condizione: Nuovo

Collana: Fundamentals of Microfabrication and Nanotechnolgy

Dimensioni: 11.01 x 8.25 in Ø 4.55 lb

Formato: Copertina rigida

Illustration Notes:625 color images, 112 tables and 9/12 - MISSPELLING ON SPINE OF COVER

Pagine Arabe: 670

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